離軸拋物鏡:采用高精度單點(diǎn)車加工,防紫外/離子體老化鍍膜,可以使表面膜層達(dá)到高耐受性,充分延長使用壽命,規(guī)格:D=25.4 F=50.8。
248nm氟化鈣透鏡:氟化鈣以其卓越的光學(xué)性能,成為紫外線至近紅外波段的理想材料,也解決了百合在紫外項(xiàng)目中的高端應(yīng)用。
248nm可變衰減濾光片:角度范圍0-45度。
在集成電路光刻應(yīng)用領(lǐng)域,百合從逆向產(chǎn)品入手,目前生產(chǎn)的光學(xué)零部件已定型20多款應(yīng)用。
隨著半導(dǎo)體檢測設(shè)備廠家的國產(chǎn)化替代的呼聲,百合逐漸增加了這部分產(chǎn)品,目前鏡片鏡頭已進(jìn)入多家頭部企業(yè)進(jìn)行測試和定型,核心器件為:266nm反射、分光等。